[19p-A12-1~13] 7.6 イオンビーム一般

[19p-A12-2] 理想形状電界イオンエミッタ作製のための電界誘起酸素エッチング進行過程の解明

^○（M1）加藤習¹，浅井貴之¹，永井滋一^1,2，岩田達夫²，梶原和夫²，畑浩一^1,2，安坂幸師³，齋藤弥八³ (三重大院工¹，三重大極限ナノエレセ²，名大院工³)

キーワード：電界誘起酸素エッチング