[19p-A13-1~7] 7.4 ナノインプリント

[19p-A13-6] 電圧印加ガラスインプリントによる高アスペクト比構造の形成

^○生田目直季¹，池田弘²，酒井大輔¹，原田建治³，秋葉周作⁴，鈴木俊夫⁴，西井準治¹ (北大電子研¹，九大産学連携セ²，北見工大³，旭硝子中央研⁴)

キーワード：インプリント,電圧印加,ガラス