[19p-B5-1~22] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [19p-B5-10] 半極性(1\overline{1}02)AlN基板上へのAlGaN/AlN量子井戸構造の作製

^○市川修平¹，船戸充¹，永田俊郎²，川上養一¹ (京大院工¹，JFEミネラル²)

キーワード：半極性,AlGaN,MOVPE