[19p-C1-1~17] 8.1 プラズマ生成･制御

[19p-C1-13] 回路構造を利用したソリューションプラズマの特性制御

^○Heo Yongkang¹，木口崇彦²，齋藤永宏^1,2,3,4 (名大院工¹，名大グリーンモビティ²，名大エコ³，JST-CREST⁴)

キーワード：Solution plasma,Electron temperature,Control