[19p-C1-1~17] 8.1 プラズマ生成･制御

△ [19p-C1-3] ECRECRイオン源における共鳴点形状とプラズマパラメータおよびイオンビーム電流の関係

^○（M2）矢野慧介，木村大樹，熊倉翔，今井洋太，佐藤文信，加藤裕史，飯田敏行 (阪大院工)

キーワード：ECR,イオン源,イオンビーム