[19p-C1-1~17] 8.1 プラズマ生成･制御

[19p-C1-4] ECR多価イオン源プラズマにおける電子エネルギー分布関数

^○（M1）熊倉翔，栗栖庸輔，木村大樹，矢野慧介，今井洋太，佐藤文信，加藤裕史，飯田敏行 (阪大院工)

キーワード：EEDF