[19p-C1-1~17] 8.1 プラズマ生成･制御

[19p-C1-5] 電子サイクロトロン共鳴イオン源プラズマのイオンビーム電流量に対する引出電極の中間電位効果

^○木村大樹，矢野慧介，熊倉翔，今井洋太，佐藤文信，加藤裕史，飯田敏行 (阪大院工)

キーワード：ECRIS,電極