[19p-C1-1~17] 8.1 プラズマ生成･制御

△ [19p-C1-8] 新規アンテナ構造を用いたメートル級マイクロ波大気圧ラインプラズマの生成

^○鈴木陽香¹，中野優¹，伊藤仁^2,3，関根誠^1,2，堀勝^1,2，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大PLANT²，東京エレクトロン³)

キーワード：大気圧プラズマ,マイクロ波