[19p-C11-1~19] 9.5 新機能材料・新物性

△ [19p-C11-1] Siウェハの電気伝導性における超音波歪み効果

^○鶴田一樹¹，美藤正樹¹，長野琢磨¹，片宗優貴²，吉武剛² (九工大工¹，九大総理工²)

キーワード：ひずみ,超音波,シリコン