[19p-C2-1~20] 8.6 プラズマ現象･新応用･融合分野

△ [19p-C2-1] SiF₄の電子衝突断面積の推定

^○（M1）川口悟，佐藤孝紀，伊藤秀範 (室蘭工大)

キーワード：SiF₄,Electron swarm method,Monte Carlo simulation