14:00 〜 14:15
[19p-C7-1] 有機EL素子上部電極膜作製のためのスパッタ成膜法の検討
キーワード：スパッタ堆積,電極膜,OLED
講演情報
一般セッション(口頭講演)
06．薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料
[19p-C7-1~13] 6.4 薄膜新材料
2013年9月19日(木) 14:00 〜 17:30 C7 (TC3 1F-117)
一般セッション(口頭講演)
06．薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料
2013年9月19日(木) 14:00 〜 17:30 C7 (TC3 1F-117)
14:00 〜 14:15
キーワード：スパッタ堆積,電極膜,OLED