[19p-C7-1~13] 6.4 薄膜新材料

[19p-C7-11] 粉砕処理をしたY-EDTA金属錯体原料からのY₂O₃膜の合成

^○（PC）小松啓志¹，関矢徹雄¹，外山歩¹，中村淳^1,2，大塩茂夫¹，戸田育民¹，村松寛之¹，齋藤秀俊¹ (長岡技科大¹，中部キレスト²)

キーワード：Y2O3,Y-EDTA錯体,粉砕処理