[19p-C7-1~13] 6.4 薄膜新材料

[19p-C7-3] 沿面放電による雰囲気制御下での酸化スズ薄膜の作製

^○丹祐人，金指翔大，花井利通，伊豫田正彦，奥谷昌之 (静岡大工)

キーワード：沿面放電,プラズマ,酸化スズ