[19p-C7-1~13] 6.4 薄膜新材料

[19p-C7-7] アクリル基板への高付着力光学薄膜の形成技術の研究

^○高橋智朗¹，室谷裕志¹，松本繁治² (東海大院工¹，シンクロン²)

キーワード：光学薄膜,スパッタリング