2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.6 Siデバイス/集積化技術

[19p-C8-1~18] 13.6 Siデバイス/集積化技術

2013年9月19日(木) 13:15 〜 18:30 C8 (TC3 2F-201)

16:15 〜 16:30

[19p-C8-10] 数nm-CMOS 素子用二次元Si 層の検討(IV):光学特性の変調効果

鈴木佑弥1,中原雄太1,永田祐介1,青木孝1,水野智久1,鮫島俊之2 (神奈川大理1,東京農工大工2)

キーワード:2DSi