[19p-D1-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19p-D1-2] 化学溶液堆積法によって作製した(111)配向Ba-Biペロブスカイト固溶体薄膜の誘電特性

^○木村純一¹，Mohamed-Tahar Chentir¹，清水荘雄¹，内田寛²，舟窪浩¹ (東工大¹，上智大²)

キーワード：誘電体,薄膜