[19p-D2-1~15] 6.6 プローブ顕微鏡

[19p-D2-13] 原子状水素照射によるsi(111)表面のエッチングのNC-AFM観察

^○宮城友昭¹，笹原亮¹，富取正彦¹，粉川良平²，大田昌弘²，山田啓文³，小林圭^3,4，大藪範昭^3,5 (北陸先端大¹，島津製作所²，京大院工³，京大白眉セ⁴，JST/先端計測⁵)

キーワード：原子状水素