[19p-D7-1~17] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19p-D7-14] 層状BN剥離層を用いたAlGaN/GaN HEMTの銅板への転写

^○廣木正伸，熊倉一英，小林康之，赤坂哲也，山本秀樹，牧本俊樹 (NTT物性研)

キーワード：GaN,HEMT,BN