[19p-P2-1~19] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

△ [19p-P2-12] Si(111)及び非晶質ガラスに堆積したAl₂O₃膜上のAlGaAsナノ構造の作製と評価

^○崎田晋哉，藤曲央武，原真二郎 (北大量集センター)

キーワード：ナノワイヤ,Al2O3,MOVPE