[19p-P3-1~6] 9.3 ナノエレクトロニクス

[19p-P3-6] 直列接続型ナノギャップでの通電によるギャップ狭窄過程の電気的特性評価

^○伊藤光樹，平田晃大，豊中貴大，白樫淳一 (東京農工大院工)

キーワード：ナノギャップ,集積化,エレクトロマイグレーション