[19p-P4-1~8] 9.4 熱電変換

[19p-P4-3] RFスパッタにより形成したMg2Si薄膜の熱電特性Ⅱ

^○林佳範¹，森田幸弘^1,2，西谷幹彦^1,2，倉敷哲生¹ (阪大¹，パナソニック²)

キーワード：Mg2Si,薄膜