2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.1 探索的材料物性

[19p-P8-1~10] 14.1 探索的材料物性

2013年9月19日(木) 13:30 〜 15:30 P8 (デイヴィス記念館 )

13:30 〜 15:30

[19p-P8-4] AZO透明導電膜とn+-BaSi2膜の接触抵抗評価

島田直弥1,馬場正和1,小池信太郎1,都甲薫1,末益崇1,2 (筑波大院1,JST-CREST2)

キーワード:AZO