[19p-P9-1~7] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

[19p-P9-1] CoSi₂バッファ層を用いたSi上弗化物共鳴トンネル構造の高温成長

^○高橋剛，田村智晃，高橋慶太，筒井一生 (東工大総理工)

キーワード：弗化物,MBE,超薄膜