[20a-A8-1~12] 5.3 光制御

△ [20a-A8-3] 300 mm SOI基板上にハーフトーンマスクで作製したシリコン細線導波路

^○平野秀¹，相馬宗厳¹，北智洋¹，田主裕一朗¹，関三好²，外山宗博²，堀川剛²，山田博仁¹ (東北大院工¹，産総研²)

キーワード：シリコンフォトニクス