2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.5 Siプロセス技術

[20a-B4-1~11] 13.5 Siプロセス技術

2013年9月20日(金) 09:00 〜 12:00 B4 (TC2 1F-106)

09:30 〜 09:45

[20a-B4-3] マイクロプラズマを用いたエッチングプロセス

田中宏幸2,中野禅1,2,清水禎樹1,2,小木曽久人1,2,二川真士3,吉岡秀明3,福田孝弘3,内山嘉典3,Sommawan Khumpuang1,2,原史朗1,2 (産総研1,ミニマルファブ技術研究組合2,デザインネットワーク3)

キーワード:ミニマルファブ,マイクロプラズマ