[20a-B4-1~11] 13.5 Siプロセス技術

[20a-B4-3] マイクロプラズマを用いたエッチングプロセス

^○田中宏幸²，中野禅^1,2，清水禎樹^1,2，小木曽久人^1,2，二川真士³，吉岡秀明³，福田孝弘³，内山嘉典³，Sommawan Khumpuang^1,2，原史朗^1,2 (産総研¹，ミニマルファブ技術研究組合²，デザインネットワーク³)

キーワード：ミニマルファブ,マイクロプラズマ