[20a-B4-1~11] 13.5 Siプロセス技術

[20a-B4-4] 小口径ウェハにおけるエッジベベリングがレジスト塗布に与える影響

^○奧田修史¹，梅山規男^1,2，山崎篤^1,3，住澤春男^1,3，市川浩一郎^1,3，武内翔^1,4，扇子義久^1,4，ソマワン クンプアン^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ技術研究組合¹，産総研²，不二越機械工業³，リソテックジャパン⁴)

キーワード：MINIMAL,ハーフインチウェハ,ミニマルファブ