[20a-B4-1~11] 13.5 Siプロセス技術

[20a-B4-6] ミニマルファブのための小型スパッタ成膜装置の開発

^○小木曽久人^1,2，中野禅^1,2，行村健¹，加藤旭彦^2,3，薮田勇気^2,3，Sommawan Khumpuang^1,2，原史朗^1,2 (産総研¹，ミニマルファブ技術研究組合²，誠南工業³)

キーワード：Minmal fab