[20a-B5-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20a-B5-10] 気相成長AlN基板上AlNエピタキシャル層の時間空間分解カソードルミネッセンス計測

^○秩父重英¹，石川陽一¹，田代公則¹，古澤健太郎¹，羽豆耕治¹，Jinqian Xie²，三田清二²，Ramon Collazo³，Zlatko Sitar³ (東北大多元研・院工¹，Hexatech Inc.²，NCSU³)

キーワード：AlN,時間空間分解カソードルミネッセンス