[20a-D3-1~5] 15.7 エピタキシーの基礎

[20a-D3-5] 「結晶工学分科内招待講演」（45分）可視光およびX線を用いた窒化物半導体結晶成長原子レベルその場観察

鞠光旭¹，渕真悟^2,5，田渕雅夫^2,3，竹田美和⁴，本田善央¹，山口雅史^1,2，^○天野浩^1,2 (名大院工¹，名大ARC²，名大SR³，科技財団あいちSR⁴，青学理工⁵)

キーワード：その場観察,X線,可視光