[20a-D6-1~11] 14.1 探索的材料物性

[20a-D6-1] 「講演奨励賞受賞記念講演」（15分）AgコートSi基板に成長させたβ-FeSi₂薄膜の微細構造解析

^○本村俊一¹，林剛平¹，板倉賢¹，秋山賢輔² (九大総理工¹，神奈川産技センター²)

キーワード：環境半導体,シリサイド