[20a-D6-1~11] 14.1 探索的材料物性

[20a-D6-2] (110)Si基板上への鉄シリサイド薄膜のエピタキシャル成長

^○秋山賢輔¹，高橋亮¹，松本佳久¹，本村俊一³，林剛平³，舟窪浩²，板倉賢³ (神奈川県産業技術セ¹，東工大総理工²，九州大総理工³)

キーワード：β-FeSi₂,エピタキシャル成長