[20a-D7-1~11] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

△ [20a-D7-1] 塩素ガスプラズマによるGaNエッチングにおける窒素ガス添加の効果

^○（M2）劉沢セイ，朴鐘胤，曹佳棟，加古隆，石川健治，小田修，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝 (名大院工)

キーワード：エッチング,チッカガリウム