[20a-D7-1~11] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[20a-D7-2] 窒化ガリウム表面の過剰酸化を抑制する洗浄液の検討

^○辻幸洋^1,2，勝山造¹，寺本章伸²，白井泰雪²，須川成利²，大見忠弘² (住友電工¹，東北大²)

キーワード：GaN,XPS