2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[20a-D7-1~11] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2013年9月20日(金) 09:00 〜 12:00 D7 (MK 3F-302)

11:00 〜 11:15

[20a-D7-8] GaN基板上低キャリア厚膜n-GaNショットキ‐接触の評価

○（M1）木原雄平1，塩島謙次1，青木俊周1，金田直樹2，三島友義1 (福井大院工1，日立電線2)

キーワード：n-GaNショットキー障壁高さ