[20p-A8-1~8] 5.3 光制御

[20p-A8-4] ５０ＧＨｚ帯域Ｓｉ導波路集積ＰＩＮ型Ｇｅフォトダイオードの検討

^○野口将高^1,2，藤方潤一^1,2，三浦真^1,2，岡本大典^1,2，堀川剛^1,3，荒川泰彦^1,4 (ＰＥＣＳＴ¹，ＰＥＴＲＡ²，産総研³，東大⁴)

キーワード：Siフォトニクス,光集積回路,受光器