[20p-C7-1~5] 6.4 薄膜新材料

△ [20p-C7-3] 反応性パルスレーザー堆積法によるCoO_xN_y薄膜のエピタキシャル成長

^○高橋純平^1,2，廣瀬靖^1,2,3，中尾祥一郎^2,3，楊長^1,2,3，岡崎壮平^2,3，福村知昭^1,2,3，長谷川哲也^1,2,3 (東大¹，KAST²，JST-CREST³)

キーワード：薄膜,PLD