2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.6 Siデバイス/集積化技術

[20p-C8-1~5] 13.6 Siデバイス/集積化技術

2013年9月20日(金) 13:15 〜 14:30 C8 (TC3 2F-201)

13:15 〜 13:30

[20p-C8-1] KFM Measurement of Nano-Scale Selectively Doped Silicon Channel

Krzysztof Tyszka1,2,Daniel Moraru1,Takeshi Mizuno1,Ryszard Jablonski2,Michiharu Tabe1 (Shizudai1,Warsaw Univ. Technol.2)

キーワード:KFM,dopant