[20p-D3-1~6] 15.7 エピタキシーの基礎

[20p-D3-6] GaAsマイクロチャンネルエピタキシーにおけるマスクパターン形状による過飽和度制御

^○冨田将史，高倉宏幸，岩川宗樹，水野陽介，山田純平，菱田武重，神林大介，成塚重弥 (名城大理工)

キーワード：MCE,LPE,GaAs