■大気圧プラズマ分析装置、二次イオン質量分析計（SIMS,SNMS)、プラズマイオンエネネルギーアナライザー付質量分析計、ラングミュアプローブ、大気圧サンプリング、ガス分析計、四重極質量分析計、SIMS型エンドポイントディテクター、チャンネルトロン、ディレイラインディテクター、UPS（無停電電源） ■コスト重視と機能重視の二種類の自動整合器、可変周波数高周波電源100-460KHz又は1.7-2.1MHz（300W-5KW）、高周波電源・13.56・27.12・40.68・60.00・81.36MHz（300W-15KW）、DCパルスコントローラー及びＤＣ電源、光ファイバー温度計