[27a-A2-1~9] 3.4 計測光学

[27a-A2-2] △導波モードセンサを利用したメッキ初期過程での金属粒子形状の観察 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○（M2）水野盛悟¹，大木義路¹，藤巻真²，粟津浩一² (早大先進理工¹，産総研²)

キーワード：メッキ、センサー