[27a-A6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[27a-A6-3] △エピタキシャルダイヤモンド薄膜における基板の仕上げ研磨効果 (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○加藤有香子¹，梅沢仁¹，鹿田真一¹，峠睦² (産総研、ダイヤラボ¹，熊本大²)

キーワード：ダイヤモンド、研磨