[27a-PB2-1~24] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[27a-PB2-19] 対向ターゲット式スパッタ法を用いた酸化亜鉛系薄膜トランジスタの作製 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○Yusuke Okada，森田竜次，前元利彦，佐々誠彦 (大阪工大)

キーワード：ZnO,対向ターゲット式スパッタ,RFスパッタ