[27a-PB3-1~7] 6.4 New thin-film materials

[27a-PB3-4] Hybrid Orientation CeO₂ Layers on Si(100) Substrates

^○Tomoyasu Inoue¹, Shigenari Shida¹ (Iwaki Meisei Univ.¹)

Keywords:方位選択エピタキシャル成長、複合面方位、反応性スパッタリング