[27a-PB4-1~25] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[27a-PB4-1] 酸化物半導体の電気的、光学的特性評価(III)-IGZO 薄膜におけるアニール条件と光伝導性の相関- (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○岸智弥，日野綾，森田晋也，小坂修司，林和志，釘宮敏洋 (神戸製鋼所)

キーワード：酸化物半導体、μ-PCD