[27a-PB4-1~25] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[27a-PB4-11] 反応性DCスパッタリング法によるPETフィルム上へのZnO薄膜の室温成膜 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○木村亮太¹，西垣宏¹，蓮池紀幸¹，金廷坤¹，山本拓志¹，出原康平¹，一色俊之¹，木曽田賢治²，播磨弘¹ (京都工芸繊維大¹，和歌山大²)

キーワード：酸化亜鉛、透明導電膜、スパッタリング