[27a-PB4-1~25] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[27a-PB4-6] 電界下結晶化ゾル―ゲルZnO膜を活性層に用いた薄膜トランジスタ (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○柏谷将樹 (秋田大システム科学)

キーワード：薄膜トランジスタ、酸化亜鉛、ゾルゲル