[27a-PB4-1~25] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[27a-PB4-9] 金属薄膜上に成膜したZnO系薄膜の特性評価 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○（M1）平野貴大¹，吉岡秀樹²，山本伸一¹ (龍谷大院理工¹，兵庫工技セ²)

キーワード：酸化亜鉛、ZnO、透明導電膜