[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

[27p-A3-14] △中性粒子ビームによる低損傷・高選択比SiNエッチングメカニズムの解明 (5:00 PM ～ 5:15 PM)

^○中山大樹¹，和田章良¹，久保田智広¹，寒川誠二^1,2 (東北大流体研¹，東北大WPI-AIMR²)

キーワード：中性粒子ビーム、窒化シリコンエッチング、フロロカーボンプラズマ