[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

[27p-A3-15] △CH_xF_yプラズマにおける活性種生成過程とエッチング機構の解明(II) (5:15 PM ～ 5:30 PM)

^○近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，林俊雄，関根誠，堀勝 (名大院工)

キーワード：Fluorocarbon、Model